各種接近傳感器的制造工藝

　　接近傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上。

　　接近傳感器是通過沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的，相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí)，同樣可將部分電路制造在此基板上。

　　接近傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是Al2O3制成的，然后進(jìn)行熱處理，使厚膜成形。

　　接近傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠、凝膠等)生產(chǎn)。完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后，已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。

　　接近傳感器這二種工藝之間有許多共同特性，在某些方面，可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究、開發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低，以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因，采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。

　　1、接近傳感器和光纖傳感器工作原理不同

　　先從兩者的工作原理來講，光電傳感器它是依據(jù)光電效應(yīng)的原理來工作的，也就是說當(dāng)光照射到由半導(dǎo)體制成的光電傳感器上時(shí)就會(huì)發(fā)出光電子的一種現(xiàn)象，可以把光能轉(zhuǎn)化為電能。比如常用作光控場合的光敏電阻、光敏二極管和光敏三極管等都是根據(jù)這種效應(yīng)進(jìn)行工作的。而光纖傳感器是通過光的全反射原理來工作的，對(duì)于光的全反射原理在中學(xué)物理中就學(xué)過，比如光折射和反射的斯涅爾定律就用數(shù)學(xué)關(guān)系式很清楚地表達(dá)了光反射原理。所以我們運(yùn)用光導(dǎo)纖維的傳光特點(diǎn)就可以把被測量轉(zhuǎn)化成光特性的改變，比如可以改變光的頻率、波長、強(qiáng)度和相位等。

　　2、接近傳感器和光纖傳感器制作材料不同

　　接近傳感器的制作材料主要是具有光電效應(yīng)的半導(dǎo)體材料或者金屬材料制作而成，比如光電二極管和光電三極管的制造材料一般有硅材料或者鍺材料，光敏電阻的材料由硫化鎘或者銻化銦等材料制作;而光纖傳感器是由光透射率高的玻璃纖維(主要是由石英玻璃)構(gòu)成，成分比較單一。

　　3、接近傳感器和光纖傳感器的結(jié)構(gòu)不同

　　接近傳感器的比較簡單，比如光電二極管就有引腳、外殼、管芯以及玻璃聚光鏡等部分構(gòu)成;而光纖傳感器的結(jié)構(gòu)相對(duì)復(fù)雜些，除了光纖外還有一些復(fù)雜的外設(shè)作為輔助控制。

　　4、接近傳感器和光纖傳感器所測量的范圍不同

　　接近傳感器所測量的范圍相對(duì)較少，一般有光強(qiáng)度、光照度、速度和應(yīng)變位移等;而光纖傳感器所測量的范圍比較廣，大約可以測量70多個(gè)物理量，比如壓力、震動(dòng)、速度、電流、溫度、流量、磁場等，所以光纖傳感器今后發(fā)展的前潛力是巨大的，可謂是后來者居上。